يمكن لمعدات معالجة غاز الذيل التعامل مع الغازات المستخدمة في عمليات الحفر وعمليات ترسيب البخار الكيميائي في صناعات أشباه الموصلات والبلورات السائلة والطاقة الشمسية ، بما في ذلك SiH4 و SiH2Cl2 و PH3 و B2H6 و TEOS و H2 و CO و NF3 و SF6 و C2F6 و WF6 ، NH3 ، N2O ، وهلم جرا.
طريقة معالجة غاز العادم
وفقًا لخصائص معالجة غاز العادم ، يمكن تقسيم المعالجة إلى أربعة أنواع من المعالجة:
1. نوع غسل الماء (معالجة الغازات المسببة للتآكل)
2 - النوع المؤكسد (الذي يتعامل مع الغازات القابلة للاحتراق والسامة)
3. الامتزاز (حسب نوع مادة الامتزاز للتعامل مع غاز العادم المقابل).
4- نوع احتراق البلازما (يمكن معالجة جميع أنواع غازات العادم).
لكل نوع من أنواع العلاج مزاياه وعيوبه بالإضافة إلى نطاق تطبيقه.عندما تكون طريقة المعالجة هي الغسيل بالماء ، تكون المعدات رخيصة وبسيطة ، ويمكنها فقط التعامل مع الغازات القابلة للذوبان في الماء ؛نطاق تطبيق نوع الغسيل بالماء الكهربائي أعلى من نوع الغسيل المائي ، لكن تكلفة التشغيل مرتفعة ؛النوع الجاف له كفاءة معالجة جيدة ، ولا ينطبق على تدفق الغاز الذي يسهل انسداده أو تدفقه.
يمكن تصنيف المواد الكيميائية ومنتجاتها الثانوية المستخدمة بشكل شائع في صناعة أشباه الموصلات وفقًا لخصائصها الكيميائية ونطاقاتها المختلفة:
1. الغازات القابلة للاشتعال مثل SiH4H2 ، إلخ.
2. الغازات السامة مثل AsH3 و PH3 وما إلى ذلك.
3. الغازات المسببة للتآكل مثل HF ، HCl ، إلخ.
4. غازات الدفيئة مثل CF4 و NF3 وما إلى ذلك.
نظرًا لأن الغازات الأربعة المذكورة أعلاه ضارة بالبيئة أو بجسم الإنسان ، فيجب أن تمنع انبعاثها المباشر في الغلاف الجوي ، لذلك يتم تركيب مصنع أشباه الموصلات العامة بنظام معالجة غاز العادم المركزي الكبير ، لكن هذا النظام هو فقط عادم تنقية المياه ، لذلك يقتصر التطبيق على الغازات القابلة للذوبان في الماء لمسافات طويلة ، ولا يمكنه التعامل مع التقسيم الدقيق والمتغير باستمرار لغاز عادم عملية أشباه الموصلات.لذلك ، من الضروري اختيار ومطابقة معدات معالجة غاز العادم المقابلة وفقًا لخصائص الغاز المشتقة من كل عملية من أجل حل مشكلة غاز العادم بطريقة صغيرة.نظرًا لأن منطقة العمل غالبًا ما تكون بعيدة عن نظام معالجة غاز العادم المركزي ، فغالبًا ما تؤدي خصائص الغاز إلى التبلور أو تراكم الغبار في خط الأنابيب ، مما يؤدي إلى انسداد خط الأنابيب مما يؤدي إلى تسرب الغاز ، وفي الحالات الخطيرة ، قد يتسبب في حدوث انفجار ، لا يمكن ضمان سلامة عمل موظفي الموقع.لذلك ، في منطقة العمل ، تحتاج إلى تكوين معدات معالجة غاز العادم الصغيرة المناسبة لخصائص غاز العملية ، من أجل تقليل غاز العادم الراكد في منطقة العمل ، لضمان سلامة الأفراد.