مجالات التطبيق لأنظمة أنابيب الغاز عالية النقاء

يشمل المشروع الصناعات المتطورة مثل أشباه الموصلات، الدوائر المتكاملة، شاشات العرض المسطحة، الالكترونيات الضوئية، السيارات، الطاقة الجديدة، النانو، الألياف البصرية، الالكترونيات الصغيرة،البتروكيماويات، الطب الحيوي، المختبرات المختلفة، ومعاهد البحوث، والاختبارات القياسية، الخ

تكنولوجيا أنابيب الغاز عالية النقاء

تكنولوجيا أنابيب الغاز عالية النقاء هي جزء مهم من نظام إمداد الغاز عالية النقاء وهي تكنولوجيا مهمة لتزويد الغازات عالية النقاء إلى نقطة الإمداد المطلوبة.ما يسمى بتكنولوجيا أنابيب الغاز عالية النقاء يتضمن التصميم الصحيح للنظام، اختيار الأدوات والإكسسوارات، والبناء والتركيب، والاختبار و...

أنواع الغازات العامة

يتم تصنيف الغازات العامة في صناعة الكترونيات الغازية العامة على أنها:غازات عامة ، والمعروفة أيضًا باسم الغازات السائبة:الهيدروجين (H2) ، والنيتروجين (N2) ، والأكسجين (O2) ،الأرغون (A2) والغازات الخاصة الأخرى (الغازات الخاصة) أساساً تيتراكلوريد السيليكونبوريد الهيدروجين، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البور، هيكسفلوريد البورهيكسفلوريد البورون، هيكسفلوريد البورون ، هيكسفلوريد البورون ، الخ أنواع الغازات الخاصة عادة ما تصنف على أنها تآكلية ، سامة ، قابلة للاشتعال ، قابلة للاشتعال ، غير فعالة ، وهلم جرا.

يتم تصنيف غازات أشباه الموصلات العامة على النحو التالي

(1) التآكل / السام: حمض الهيدروكلوريك، BF3، WF6، HBr، السيليكا، NH3، PH3، Cl2، Bcl 3، الخ.

(ii) قابلية للاشتعال 3336H2، CH4، SiH4، PH3، AsH3، SiH2Cl2، B2H6، CH2F2، CH3F، co. وهلم جرا.

(3) قابلية للاشتعال: O2، Cl2، N2O، NF3... الخ

(4) غازات نصف الموصلات، مثل الغازات النبيلة: CF4، C2F6، C4F8، CO2، النيون، الكريبتون، الهيليوم... ضارة لجسم الإنسان.

على وجه الخصوص ، بعض الغازات ، مثل SiH4 ، لها خاصية الاحتراق التلقائي. بمجرد حدوث تسرب ، سيتفاعل بشدة مع الأكسجين في الهواء ويبدأ في الحرق.AsH3 سام أيضًا.التسريبات الصغيرة قد تضر بحياة الناسبسبب هذه المخاطر الواضحة ، فإن متطلبات السلامة لتصميم النظام عالية بشكل خاص.

أنظمة أنابيب غاز إلكترونية خاصة