في أشباه الموصلات، وبطاريات الليثيوم، وشاشات الإلكترونيات الضوئية، يعد الإمداد المستقر بالغاز المتخصص أساس الإنتاج المستمر. نظام تعبئة الغاز - المحور الحرج بين مصدر الغاز ونقطة الاستخدام - يحدد بشكل مباشر السلامة والاستمرارية والنقاء.
يقوم نظام تعبئة الغاز بشحن الغازات الصناعية إلى أسطوانات أو حاويات عند ضغط ودرجة حرارة ونقاء محددين. هناك أربعة متطلبات تدفع كل تصميم:
| متطلبات | وصف |
| أمان | التحكم الصارم في الضغط ودرجة الحرارة؛ منع الملء الزائد وسوء الملء |
| ضمان الطهارة | القضاء على دخول الشوائب طوال دورة التعبئة بأكملها |
| قياس الدقة | كمية تعبئة دقيقة من حيث الوزن أو الحجم، وفقًا للمعايير الوطنية |
| التشغيل المستمر | تعبئة دفعة متعددة الأسطوانات عالية الإنتاجية |
مرتكز علىGB16163-1996يتم تصنيف الغازات الصناعية حسب الحالة الفيزيائية والخصائص الكيميائية.
الغازات السائبة— الغازات التقليدية ذات الحجم الكبير (O₂، N₂، Ar، H₂، CO₂، C₂H₂):
| فئة | درجة الحرارة الحرجة | ولاية |
| الغازات الدائمة | < -10 درجة مئوية | غازية |
| مسال عالي الضغط | -10 درجة مئوية إلى 70 درجة مئوية | سائل، يتبخر فوق درجة الحرارة الحرجة |
| الأسيتيلين المذاب | — | يذوب في المذيب تحت الضغط |
الغازات المتخصصة— غازات عالية النقاء ومنخفضة الحجم للإلكترونيات والمواد الكيميائية المتخصصة:
ارتفاع الضغط المسال:
المسال ذو الضغط المنخفض (> 70 درجة مئوية):
| # | الوحدة النمطية | وظيفة |
| 1 | تنظيم مصدر الغاز | المدخول، تعديل الضغط، الإخراج المستقر |
| 2 | ملء الرف والمشعب | وحدة تعبئة متوازية متعددة الأسطوانات |
| 3 | القياس والتحكم | مراقبة الوزن/الضغط، الصمامات الآلية، أقفال الأمان |
| 4 | حماية السلامة | تخفيف الضغط الزائد، إيقاف الطوارئ، كشف التسرب |
| 5 | التنقية والترشيح | تنقية الغاز قبل التعبئة |
| 6 | معالجة غاز الذيل | استعادة الغاز المتبقي أو التخلص منه بشكل غير ضار |
مشعب الشحن– وحدة التنفيذ المركزية . يتيح الفولاذ المقاوم للصدأ المصقول كهربائيًا بدرجة EP المزود بصمامات فرعية وموصلات مخصصة تعبئة دفعة متعددة الأسطوانات في وقت واحد. المتشعبات خاصة بالغاز: الأكسجين، والهيدروجين، والأرجون، ومتغيرات الغاز المتخصصة، يستخدم كل منها مواد وموانع تسرب متطابقة.
نظام مشعب الغاز— تجميع مجموعات أسطوانات متعددة مع تقليل الضغط الأولي/الثانوي، مما يتيح الإمداد المتواصل من خلال التبديل البنكي الآلي — وهو ضروري للتعبئة المستمرة للغاز بكميات كبيرة.
مجموعة صمامات تنظيم الضغط- يقلل من مصدر الغاز عالي الضغط لاستهداف ضغط التعبئة. للغازات المتخصصةتعتبر مخفضات نوع الحجاب الحاجز إلزامية: غرف محكمة الغلق بغشاء تمنع التلوث الداخلي، وتحافظ على نقاء مستوى ppb وهو أمر ضروري لتطبيقات درجة أشباه الموصلات.
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
indonesia
ไทย
polski