يعود استخدام الغازات في صناعة أشباه الموصلات إلى أوائل الخمسينات إلى الستينيات. خلال عملية تصنيع أشباه الموصلات،تستخدم الغازات بشكل رئيسي لتنظيف وحماية مواد أشباه الموصلات لضمان نقائها وجودتهامن بين الغازات الأكثر شيوعا هي النيتروجين والهيدروجين.
مع تطوير تكنولوجيا أشباه الموصلات واستمرار تحسين عمليات التصنيع ، ازداد الطلب على الغازات. في عام 1970 ، تم تطوير تكنولوجيا تصنيع أشباه الموصلات ،ارتفع تدريجياً استخدام الغازات في العمليات الرئيسية مثل الحفر وترسب الأفلام الرقيقة، وغازات الفلورايد (على سبيل المثال SF6) والأكسجين أصبحت غازات الحفر والترسب المستخدمة عادة.شهد عام 1980 زيادة جديدة في الطلب على الغازات مع تطوير الدوائر المتكاملة وزيادة الطلب عليهاكان الهيدروجين يستخدم على نطاق واسع في عمليات التصنيع، بما في ذلك تبرئة الهيدروجين وتراكم بخار الهيدروجين.زاد الطلب على الغازات عالية النقاء والغازات المحددة مع استمرار تقلص أحجام أجهزة أشباه الموصلات وإدخال عمليات جديدةعلى سبيل المثال، يتطلب تطبيق التصوير الحجري بالأشعة فوق البنفسجية الشديدة (EUV) استخدام غازات عالية النقاء للغاية مثل النيتروجين والهيدروجين.
غازات أشباه الموصلات تستمر في الزيادة مع تطوير المنتجات ذات الصلة مدفوعة من قبل المزيد والمزيد من المنتجات كشفت، في حين أن الغاز ينتمي أيضا إلى مصدر الخطر،لذلك المنتجات المستخدمة لفك ضغط الغازوقد ظهرت منتجات الكشف عن الغازات ومنتجات منع تسرب الغازات مثل المنظمات الضغطية، صمامات الغاز، مقاييس ضغط الغاز، كاشف تسرب الغاز، الخ، وأدوارهم هي كما يلي:
منظومات الضغط: منظمات الضغط هي أجهزة تستخدم للسيطرة على ضغط الغاز. عادة ما تتكون من صمام تنظيم ومستشعر ضغط.منظمات الضغط تأخذ دخول غاز ضغط عالي وتثبيت ضغط الغاز الخارجي عن طريق ضبط الصمام لتلبية متطلبات التطبيق المحددةيتم استخدام منظمات الضغط على نطاق واسع في مجالات مثل الصناعة والتصنيع والمختبرات، وكذلك في صناعة أشباه الموصلات، من بين أمور أخرى.لضمان استقرار وسلامة إمدادات الغاز.
صمامات الغاز:صمامات الغاز تستخدم للسيطرة على تدفق الغازات وإغلاق ممرات الغاز. عادة ما يكون لها وظيفة تشغيل / إيقاف تفتح أو تغلق تدفق الغاز. هناك أنواع مختلفة من صمامات الغاز ،بما في ذلك الصمامات اليدوية، الصمامات الكهربائية والصمامات الهوائية. وهي تستخدم على نطاق واسع في أنظمة الغازات لتحكم في تدفق والضغط ومعدل تدفق الغازات.
مقاييس ضغط الغازات:أجهزة قياس ضغط الغاز تستخدم لقياس مستوى ضغط الغاز.عادة ما يتم تركيبها في المواقع الحرجة في أنظمة الغاز لمراقبة تغيرات الضغط وضمان أنها ضمن الحدود الآمنةيتم استخدام أجهزة قياس ضغط الغاز على نطاق واسع في الصناعة والتصنيع والمختبرات، وقد شاركت أيضا صناعة أشباه الموصلات.
أجهزة الكشف عن تسرب الغاز:تستخدم أجهزة الكشف عن تسرب الغاز للكشف عن تسربات في أنظمة الغاز. إنها تكتشف وجود تسربات الغاز وتطلق إنذارًا حتى يتم اتخاذ إجراءات في الوقت المناسب لمنع حوادث التسرب.أجهزة الكشف عن تسرب الغاز تستخدم على نطاق واسع في الصناعة، التطبيقات الكيميائية والنفط والغاز، وصناعة أشباه الموصلات.