مع النمو المزدهر لصناعة أشباه الموصلات ، تم طرح متطلبات أعلى لمشاريعها الداعمة. لم يشكل إمدادات الغازات الخاصة نظامًا فعالًا ،ومشاكل الأسطوانات الفوضوية، والإدارة الفوضوية وخلط الغازات غير المتوافقة هي أكثر خطورة، مما يؤثر بشكل كبير على سلامة استهلاك الغاز.اليوم موظفي شركة شنزن ووفي للتكنولوجيا:
المعالجة الخاصة للغازات الخلفية
الغازات الخاصة على الصحة والبيئة سوف تنتج ضررا كبيرا، كيفية التعامل مع الغازات الخاصة الغاز الذيل، مع ما المعدات، وهنا سوف يكون مقدمة متعمقة.
وضع غازات الغازات الخاصة
الغازات المتبقية موجودة بشكل حتمي كمشتق من نظام الغازات الخاصة في الماضي، في العديد من الكليات والجامعات، بسبب استهلاك الغاز في المختبر ليست كبيرة،مالك وحدة البناء غير على دراية تامة بمشكلة انبعاثات غازات التبريد، مع المزيد من مصانع أشباه الموصلات الناشئة ، وإنتاج الغازات الخاصة انبعاثات الغازات الذيل المزيد والمزيد من الاهتمام. ثم كيفية تفريغ،كيفية التفريغ أصبحت مشكلة أمام العديد من المستخدمين.
طريقة معالجة جهاز معالجة انبعاثات غازات الذيل في نظام الغاز الخاص:
يجب اختيار نوع جهاز معالجة غازات التبخر وفقًا لخصائص الغازات الخاصة في غازات العادم التي سيتم معالجتها.والغازات الخاصة غير متوافقة يجب أن تكون منفصلة إعداد جهاز معالجة غاز الذيل.
يجب أن يكون جهاز معالجة غازات التبديل قريبًا من GR و GC وغيرها من معدات الغاز الخاصة.
يجب أن تستخدم طريقة معالجة غازات الخروج من الغازات الخاصة امتصاص المعالجة الجافة ، والتنظيف الرطب ، ومعالجة التحلل بالدفء ، ومعالجة الاحتراق ، ومعالجة تحلل البلازما ،معالجة التخفيف ومزيج الطرق المذكورة أعلاه.
