الابتكار في تقنيات الطلاء بالفراغ وهندسة السطوح

ملخص

في محور موضوع “الابتكار في تقنيات الطلاء بالفراغ وهندسة الأسطح،” انطلق المؤتمر السابع لتبادل تكنولوجيا الفراغ رسميًا اليوم في شنتشن.

بتوجيه من المبدأ الأساسي “كسر الحواجز التقنية وتعزيز التآزر الصناعي،” يتميز هذا المؤتمر بجلسات تبادل تركز على ثلاثة مواضيع رئيسية: ترسيب الطبقة الذرية (ALD)، والترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، وطلاءات DLC/Ta-C القائمة على الكربون.

من خلال الجمع بين الخبراء الدوليين من الأوساط الأكاديمية والصناعية ومؤسسات البحوث إلى جانب القادة التقنيين من الشركات الرائدة، سيتعمق المؤتمر في أحدث التطورات في التقنيات الرئيسية، وطرق التنفيذ الصناعي، والتحديات الصناعية الأساسية. ويهدف إلى إنشاء منصة متكاملة لـ “التبادل التقني، وتوفيق الموارد، وتحويل الإنجازات،” وتمكين تكنولوجيا الفراغ من تحقيق التكامل العميق والتطبيق الواسع في القطاعات الهامة مثل أشباه الموصلات والطاقة الجديدة والمواد المتقدمة.

1. ALD/CVD “التحكم الدقيق” يحل اللغز

يتطلب اختيار الصمامات لأنظمة ALD/CVD ليس فقط تلبية المواصفات الأساسية ولكن أيضًا التوافق مع تفاصيل العملية. يعتمد تحقيق طفرة من “المقبول إلى الممتاز” في طلاء الفراغ وهندسة الأسطح على “التحكم الدقيق على مستوى الميكرون” في عمليات ALD/CVD - حيث تحدد سرعة استجابة الصمام واستقرار نظام الغاز المتخصص بشكل مباشر معدلات التوحيد والنقاء والإنتاجية للطلاء.

• ALD: “التحكم في النبضات” و “عدم التسرب”

في عمليات طلاء الفراغ، يكون أداء معدات التحكم في السوائل أمرًا بالغ الأهمية. تتفوق منتجاتنا في سرعة الاستجابة ومعدل التسرب ومقاومة درجة الحرارة. تحقق المعدات التي تتميز بهيكل صمام من الفولاذ المقاوم للصدأ بدرجة 316L EP مع أختام PTFE معدل تسرب ≤1×10⁻¹² Pa·m³/s، مما يلبي متطلبات عملية ALD. صماماتنا متعددة الفتحات، المصممة لتطبيقات طلاء ALD ذات درجة الحرارة العالية، تتحمل درجات الحرارة المرتفعة مع تحسين كفاءة التنظيف لتقليل تأثيرات السلائف المتبقية على جودة الطلاء.

• CVD: “مقاومة التآكل” و “استقرار التدفق”

تم بناء أجسام الصمامات الخاصة بنا من تجميعات صمامات مقاومة للتآكل تحتوي على أكثر من 25٪ من سبائك الكروم والنيكل والموليبدينوم. تضمن عملية CVD التشغيل المستمر وطويل الأجل دون تآكل أو تسرب. فيما يتعلق بالتحكم في التدفق، يحافظ نظام التحكم المتشابك متعدد الصمامات على انحراف التدفق في حدود ±0.2٪، متجاوزًا بشكل كبير متوسط ​​معيار الدقة الصناعية البالغ ±0.3٪. يؤدي هذا إلى حل تحدي الصناعة المتمثل في “تقلبات التدفق التي تسبب انحراف سمك الطلاء.”

• أنابيب الغاز الخاصة “ثلاث خصائص”

تعتبر “النظافة والاستقرار وإمكانية التتبع” لخطوط أنابيب الغاز المتخصصة بمثابة الحماية غير المرئية لعمليات طلاء الفراغ.

نظافة خط الأنابيب

يجب التحكم بدقة في نظافة الجدران الداخلية لخط الأنابيب. تحقيقًا لهذه الغاية، قمنا بإنشاء نظام إدارة نظافة شامل يشمل “التنظيف واللحام والتطهير والفحص.” من خلال استخدام عملية تجمع بين “التنظيف بالموجات فوق الصوتية + التطهير بالنيتروجين عالي النقاء + معالجة التخميل،” تحقق قيمة Ra للجدران الداخلية لخط الأنابيب باستمرار 0.35μm.

مطابقة دقيقة وفقًا لتصنيف الضغط

تختلف ضغوط خطوط الأنابيب بشكل كبير عبر سيناريوهات طلاء الفراغ المختلفة (تتراوح ALD عادةً من 10⁻³ إلى 10⁻⁵ Pa، بينما تعمل CVD بشكل شائع عند 0.1 إلى 0.5 ميجا باسكال)، مما يستلزم طرق توصيل متوافقة مع تصنيف الضغط.

· ضغط منخفض (≤0.3 ميجا باسكال): وصلات مزدوجة الطوق

· ضغط مرتفع (≥0.5 ميجا باسكال): لحام TIG الأوتوماتيكي

· فراغ فائق الارتفاع (≤1e-4 باسكال): حواف مختومة معدنية

توازن الضغط الديناميكي

يتسبب إمداد الغاز النبضي في عملية ALD في تقلبات ضغط خط الأنابيب. إذا تجاوزت التقلبات ±0.02 ميجا باسكال، فسيتم المساس باستقرار تركيز السلائف. من خلال تعديل منظم الضغط في المنبع، قمنا بالتحكم في تقلبات ضغط المدخل إلى ±0.005 ميجا باسكال. جنبًا إلى جنب مع تنظيم التغذية الراجعة في الوقت الفعلي من مستشعر ضغط عالي الدقة بدقة ±0.1٪ FS، حققنا في النهاية تقلبات ضغط خط الأنابيب ≤±0.003 ميجا باسكال، مما يضمن تركيز نفاث نبضي ALD ثابتًا.

• اتجاهات الترقية الأساسية لمعدات الغاز الخاصة

يجب أن تنتقل معدات الغاز الخاصة من “التشغيل المعزول” إلى “التكامل العميق مع العملية.”

• معدات خلط الغاز: مزج دقيق متعدد المكونات

تتطلب عمليات CVD عادةً خلط 2-4 غازات بنسب ثابتة. لذلك، نستخدم أجهزة تحكم في التدفق الكتلي عالية الدقة (MFCs) رائدة على المستوى الدولي بدقة قياس تبلغ ±0.05٪ FS، مما يضمن استقرارًا وموثوقية استثنائيين في التحكم في تدفق السوائل. مزودة بخوارزمية الخلط الخاصة بنا، تراقب هذه المتحكمات باستمرار وتعوض تأثيرات تقلبات درجة حرارة الغاز والضغط على معلمات التدفق.

• معدات معالجة غاز العادم: تلبي المعايير البيئية والسلامة

يجب أن يفي غاز العادم الناتج عن عملية CVD بمعايير الانبعاثات. نستخدم نظامًا متكاملًا لمعالجة غاز العادم.

مرحلة الامتصاص الجاف: مجهزة بمواد ماصة متخصصة عالية الانتقائية، يحقق نظام الامتصاص متعدد المراحل هذا كفاءة امتصاص فائقة تبلغ ≥99.9٪. مرحلة الحرق: للمركبات العضوية المعقدة التي يصعب تحللها، يتم إنشاء بيئة انحلال حراري ذات درجة حرارة عالية. جنبًا إلى جنب مع تقنية تعزيز الاحتراق المضطرب، يحقق هذا معدل تحلل عميقًا يبلغ ≥99.99٪، مما يقضي تمامًا على خطر الملوثات العضوية.

نظام “خزانة الغاز الخاصة + الأنابيب + المعدات” المتكامل

لتقليل نقاط الواجهة وتقليل مخاطر التسرب، نقدم حلاً متكاملاً. من تصميم خزانة الغاز المتخصصة (بما في ذلك التنقية والتوزيع وضوابط السلامة) إلى لحام خطوط الأنابيب وتكامل معدات معالجة غاز العادم، يتم تنفيذ العملية بأكملها بشكل احترافي بواسطة فريق واحد.

الاستفادة من الجمعية كجسر لتعزيز تكنولوجيا الصناعة

يعمل هذا المؤتمر حول “الابتكار في تكنولوجيا طلاء الفراغ وهندسة الأسطح” ليس فقط كمنصة للتبادل التكنولوجي على مستوى الصناعة ولكنه يجسد أيضًا التزام Wofei Technology بتعميق اتصالات الصناعة والنهوض بـ “التصنيع المدعوم بالتكنولوجيا.”

بالمضي قدمًا، سنواصل الاستفادة من جمعية صناعة تكنولوجيا الفراغ كجسر، مع التركيز على متطلبات التحكم في السوائل للعمليات الأساسية مثل ALD/CVD. نهدف إلى دفع تنفيذ المزيد من الابتكارات التكنولوجية، مما يدفع تكنولوجيا طلاء الفراغ وهندسة الأسطح نحو حقبة جديدة من الدقة الأعلى والسلامة المحسنة!