مع نمو سوق أشباه الموصلات تصبح معايير النقاء والدقة أكثر صرامة.أحد العوامل المحددة في جودة تصنيع أشباه الموصلات هي الغازات المستخدمة في العمليةهذه الغازات تلعب العديد من الأدوار في عملية التصنيع، بما في ذلك:
التحكم الدقيق في العملية
الوقاية من التلوث
تحسين الخصائص المعدنية
لتنفيذ هذه الأدوار بفعالية، يجب أن يكون نظام إمداد الغاز وتوزيعه فعالًا.يجب دعم تصميم أنظمة معالجة الغاز المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات بمكونات قوية وجمعيات مخصصة لضمان إنتاج موثوق به وعالي الجودة من أشباه الموصلات.
الغازات المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات
تتطلب عملية تصنيع أشباه الموصلات استخدام غازات مختلفة في مراحل مختلفة من العملية.
في حين يمكن استخدام الغازات الشائعة مثل النيتروجين والهيدروجين والأرجون والهيليوم في شكلها النقي، قد تتطلب بعض العمليات خليطات متخصصة.الهالويدات والهيدروكربونات هي بعض الغازات الخاصة المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلاتالعديد من هذه الغازات يمكن أن تكون خطرة أو فعالة للغاية، مما يخلق تحديات في اختيار وتصميم المكونات لأنظمة الغازات.
إليك بعض الأمثلة:
الهيدروجين والهيليوم يمكن أن تسرب بسهولة من أنظمة الأنابيب والإصلاحات بسبب حجمها الذري الصغير ووزنها.
السيلانات قابلة للاشتعال بشكل كبير ويمكن أن تحترق تلقائيًا في الهواء.
يصبح ثاني فلوريد النيتروجين المستخدم في مراحل الترسب والحفر وتنظيف الغرفة غازاً قوياً للاحتباس الحراري عند تسربه إلى البيئة.
فلوريد الهيدروجين (غاز الحفر) يآكل أنابيب المعادن بشكل كبير.
يمكن أن يكون من الصعب التعامل مع التريمثيلغاليوم والأمونيا - يمكن أن تؤثر التقلبات الصغيرة في متطلبات درجة الحرارة والضغط على عملية الترسب.
يجب أن يكون التحكم في ظروف العملية لتقليل الآثار السلبية لهذه الغازات أولوية قصوى أثناء تصميم النظام.من المهم بنفس القدر استخدام أعلى جودة المكونات مثل صمامات الحاجز AFK خلال عملية البناء.
معالجة تحديات تصميم النظام
غازات الدرجة شبه الموصلة في معظم الحالات ذات نقاء مرتفع وتوفر ظروف خاملة أو تعزز التفاعلات في مراحل مختلفة من عملية التصنيع ، مثل غازات الحفر والترسب.تسرب أو تلوث هذه الغازات يمكن أن يكون لها آثار سلبيةلذلك، it is critical for the system components used to be hermetically sealed and corrosion resistant as well as have a smooth surface finish (electrolytic polishing) to ensure that there is no possibility of contamination and that an extremely high level of cleanliness can be maintained.
بالإضافة إلى ذلك، يمكن تسخين أو تبريد بعض هذه الغازات لتحقيق ظروف العملية المطلوبة.والتي تعتبر حاسمة لتحقيق أداء فعال للمنتج النهائي.
من مدخل المصدر إلى نقطة الاستخدام، مجموعة واسعة من مكونات AFK تدعم نقاء عال جدا، درجة حرارة،الضغط والتحكم في التدفقات المطلوبة في غرف نظيفة للشاشات وشوائب.
أنظمة مصممة مع مكونات عالية الجودة في مصانع أشباه الموصلات
دور المكونات ذات الجودة وتحسين التصميم أمر بالغ الأهمية للسيطرة الدقيقة والتصنيع الآمن للشاشات.يجب أن تكون المكونات المستخدمة قوية وخالية من التسرب لتتناسب مع ظروف العملية المختلفة المطلوبة في مراحل مختلفة من التصنيعيتميز الصمامات عالية الجودة من AFK ، والمنشآت ، والمنظمين ، والأنابيب ، والأسقف الختامية بالخصائص التالية:
نظافة عالية جداً
أغطية خالية من التسرب
العزل المسيطر على درجة الحرارة
تحكم الضغط
مقاومة التآكل
معالجة البوليسة بالكهرباء