?

صندوق توزيع تجميع صمام VMB للسيليكون

ضمان مزدوج للسلامة والدقة في توزيع الغازات الخاصة عالية المخاطر

01 الوظائف الأساسية

توزيع أحادي المصدر متعدد المسارات، تحكم مستقل في الفرع

يمكن للمعدات تقسيم إمداد غاز سيليكون واحد من خزانة غاز متخصصة في المنبع إلى فروع إمداد مستقلة متعددة، وتزويد الغاز بوحدات معالجة متعددة في وقت واحد، وتدعم تخصيص الفروع حسب الحاجة. كل فرع مجهز بصمام تشغيل/إيقاف مستقل ووحدة مراقبة ضغط، مما يتيح التحكم المنفصل في تدفق الغاز وإيقافه للصيانة. لا تؤثر صيانة فرع واحد على إمداد الغاز الطبيعي للفروع الأخرى، مما يقلل من خطر توقف خط الإنتاج.

التطهير بالغاز الخامل والاستبدال بالفراغ لضمان سلامة التشغيل

يتميز النظام بخطوط تطهير بالنيتروجين عالي النقاء (PN₂) وخطوط استخلاص بالفراغ مدمجة. قبل صيانة الفرع، أو بدء تشغيل المعدات أو إيقاف تشغيلها، أو تفكيك خط الأنابيب وإعادة تجميعه، يمكن لخط الأنابيب المستهدف الخضوع لعملية تطهير كاملة بالغاز الخامل واستبدال بالفراغ، مما يطهر تمامًا غاز السيليكون المتبقي من الخطوط ويمنع الاحتراق التلقائي الناتج عن ملامسة السيليكون للهواء بعد فتح الصمام. يتوافق هذا تمامًا مع متطلبات التشغيل الآمن لأنظمة السيليكون الموضحة في المعايير الهندسية الفنية لأنظمة الغازات المتخصصة.

أنابيب من الفولاذ المقاوم للصدأ بدرجة 316LEP

مراقبة الضغط في الوقت الفعلي وتنبيهات التشابك للحالات غير الطبيعية

كل خط فرعي مجهز بمقاييس ضغط عالية الدقة وأجهزة استشعار ضغط تعرض ظروف الضغط في الوقت الفعلي عند المدخل والمخرج، وتدعم تكوين إنذارات الحد الأعلى والأدنى للضغط. بالاقتران مع صمامات الإغلاق الطارئ الهوائية، يمكن للنظام قطع خط الفرع المقابل بسرعة - أو حتى إمداد الغاز الرئيسي - عند اكتشاف مخاطر مثل الضغط غير الطبيعي أو تسرب الغاز. يقوم بتشغيل إنذارات صوتية ومرئية ويتكامل مع نظام التحكم المركزي للمصنع لتحقيق استجابة طارئة على مستوى المللي ثانية.

حماية محكمة بالضغط السلبي، تحكم مركزي في التسرب

يستخدم النظام هيكل خزانة مغلق بالكامل، يتميز بمنفذ عادم علوي وشبكة سحب سفلية، للحفاظ على ضغط سلبي مستقر داخل الخزانة أثناء التشغيل. حتى في حالة حدوث تسرب طفيف، يتم احتواء غاز السيليكون داخل الخزانة ويتم استخراجه مركزيًا عبر نظام العادم إلى وحدة معالجة غاز العادم، مما يمنع انتشار الغاز المتسرب إلى ورشة الإنتاج ويقضي على مخاطر الاحتراق التلقائي والتسمم على المستوى المكاني.

02 الميزات الأساسية

تصميم أمان خاص للغازات عالية المخاطر

تم تحسين النظام خصيصًا لخصائص الاشتعال الذاتي والانفجار للسيليكون، ويمكن تجهيزه بكاشفات غاز سيليكون مدمجة وأجهزة كشف اللهب. جميع المكونات الكهربائية تلبي مواصفات مقاومة الانفجار، وآلية التشابك الأمني متعددة الطبقات تتوافق تمامًا مع معايير التحكم للغازات المتخصصة عالية المخاطر، وتتجاوز بكثير مستوى الأمان الخاص بصناديق VMB القياسية للغازات الخاملة.

إمداد غاز عالي النقاء بدرجة الإلكترونيات

جميع المكونات المتدفقة مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ بدرجة SS316L EP مع أسطح داخلية مصقولة بالكهرباء. يتم تصنيع الأنابيب باستخدام عملية لحام آلية بالكامل على مسار، مما يضمن عدم وجود زوايا ميتة وعدم إطلاق جزيئات. تخضع الصمامات لاختبار تسرب الهيليوم بمعدل تسرب ≤ 1 × 10⁻⁹ atm·cc/s، مما يضمن عدم المساس بنقاء غاز السيليكون طوال العملية وتلبية متطلبات عمليات التصنيع عالية الدقة.

تصميم قائم بذاته يوفر قابلية تكيف فائقة

يوفر تصميم الحامل القائم بذاته قدرة تحمل أكبر ويلغي الحاجة إلى التركيب على الحائط. يمكن وضعه بمرونة في أماكن مختلفة، مثل حول الغرف النظيفة أو على طول ممرات الغازات المتخصصة، مما يجعله أكثر قابلية للتكيف مع تخطيطات خطوط الإنتاج المعقدة مقارنة بصناديق VMB المثبتة على الحائط.

                                                                                                                                                                                                        صمامات VMB الداخلية / صمامات غشائية / مقاييس ضغط

03 سيناريوهات التطبيق الأساسية

تصنيع رقائق أشباه الموصلات

متوافق مع عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة مثل PECVD و LPCVD و ALD في خطوط إنتاج الرقائق، يقوم هذا النظام بتوزيع غاز السيليكون بدقة على أجهزة طلاء متعددة، مما يضمن استقرار العملية لترسيب أغشية نيتريد السيليكون وأكسيد السيليكون. كما يلبي متطلبات التحكم في السلامة للغازات عالية المخاطر في الغرف النظيفة، مما يجعله التكوين القياسي للتوزيع الثانوي للغازات المتخصصة في مصانع الرقائق.

إنتاج خلايا الطاقة الشمسية

يستخدم على نطاق واسع في خطوط إنتاج الخلايا عالية الكفاءة مثل TOPCon و HJT و heterojunction، يتيح هذا النظام توزيع غاز السيليكون على آلات متعددة أثناء عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة القائمة على السيليكون وعمليات التطعيم. يلبي متطلبات إمداد الغاز المستمر لخطوط إنتاج الطاقة الشمسية ذات السعة العالية مع توفير المرونة لتحديثات وتوسعات الخطوط، مما يساعد على خفض التكاليف وتحسين الكفاءة.

                                                                         - VMB -

تصنيع شاشات الجيل التالي والإلكترونيات الضوئية

خدمة خطوط إنتاج لوحات العرض TFT-LCD و AMOLED و Mini/Micro LED، بالإضافة إلى مجالات مثل الألياف الضوئية المركبة وأشباه الموصلات المركبة، نوفر توزيعًا وتسليمًا مستقرًا وقابلًا للتحكم لغاز السيليكون لعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة والحفر، مصممة خصيصًا لتخطيطات إمداد الغاز متعددة الآلات على نطاق واسع لخطوط الإنتاج عالية الجيل.

معاهد البحث ومختبرات الاختبار

يوفر حلول توزيع سيليكون صغيرة الحجم لأبحاث المواد ومنصات التحقق من العمليات في مختبرات الجامعات والمؤسسات البحثية، مع موازنة سلامة التشغيل مع دقة إمداد الغاز لتلبية احتياجات تطبيقات الغاز التجريبية ذات الدفعات الصغيرة والمتعددة الظروف.

مزايا عرضالمنتجات والخدمات

1. البحث والتطوير والتصنيع الداخلي، مع قدرات تخصيص متميزة

بصفتها مؤسسة وطنية عالية التقنية ومؤسسة "متخصصة، دقيقة، مميزة، ومبتكرة"، تمتلك تقنية Wofly قدرات بحث وتطوير وتصنيع مستقلة. أنشأت الشركة قاعدة إنتاج خاصة بها بمساحة 8000 متر مربع، كاملة مع ورش تجميع غرف نظيفة من الفئة 100 والفئة 1000. تكتمل عملية الإنتاج بأكملها لسلسلة منتجات VMB الكاملة - من تصميم الحلول وتجميع الصمامات إلى الاختبار والشحن - داخليًا. يمكن تخصيص المنتجات بالكامل لتلبية متطلبات العملاء المحددة فيما يتعلق بعدد مخارج الغاز، ومعلمات الضغط، وأنماط التحكم، وسيناريوهات التركيب، لتلبية احتياجات خطوط الإنتاج عبر مختلف الصناعات وبأحجام مختلفة.

                              عرض داخلي لصندوق VMB المصمم خصيصًا للسيليكون

2. مؤهلات كاملة وضمان الامتثال

تمتلك الشركة مؤهلات مقاولات متخصصة لمشاريع تركيب الميكانيكا والكهرباء للمباني، ومؤهلات GC2 لتصميم وتركيب خطوط الأنابيب المضغوطة، وتصريح سلامة العمل. حصلت منتجاتنا على شهادات متعددة، بما في ذلك CE و ISO 9001. يلتزم التصميم والتصنيع بشكل صارم بالمعايير الوطنية لهندسة الغازات المتخصصة، مثل GB 50646. تخضع جميع المعدات لاختبار تسرب الهيليوم الشامل واختبارات وظيفية قبل مغادرة المصنع، مما يضمن أنها جاهزة للتشغيل المتوافق عند التسليم.

                                جولة فيعرضغرفة نظيفة من الفئة 1000

3. خدمة شاملة عبر سلسلة الصناعة بأكملها

بالإضافة إلى مجرد توريد المعدات الفردية، توفر تقنية Wofly حلاً شاملاً وشاملاً يغطي العملية بأكملها - من تخطيط محطة الغازات المتخصصة، وتركيب خطوط الأنابيب الرئيسية، وتخطيط عقد توزيع VMB، إلى أنابيب الطرفية الثانوية. يشمل هذا الحل دورة الحياة الكاملة، بما في ذلك الاستشارات الفنية، وتصميم النظام، والتصنيع المسبق والتركيب، والاختبار والقبول، وتدريب العمليات والصيانة. لا يحتاج العملاء إلى التنسيق مع موردين متعددين، مما يقلل بشكل كبير من تكاليف الاتصال وإدارة المشاريع.

                                                                                                               عرض داخلي لصندوق VMB المصمم خصيصًا للسيليكون

4. أكثر من عقد من الخبرة الصناعية وخبرة التنفيذ الواسعة

مع أكثر من عقد من الخبرة العميقة في مجال الغازات المتخصصة لصناعة الإلكترونيات، تمتد خدماتنا عبر قطاعات متعددة بما في ذلك أشباه الموصلات، والطاقة الشمسية، والمستحضرات الصيدلانية الحيوية، والمؤسسات البحثية. لقد نجحنا في تنفيذ مئات مشاريع هندسة أنظمة الغازات المتخصصة. يمتلك فريقنا الأساسي خبرة واسعة في تصميم وبناء أنظمة الغازات المتخصصة عالية المخاطر، مما يمكننا من الاستجابة بسرعة لاحتياجات العملاء وتقديم حلول مثلى مصممة خصيصًا لظروف التشغيل الفعلية.

عرضتقنية Wofly

لصناديق VMB وخزانات الغازات المتخصصة