شركة WOFLY تكشف عن صندوق صمام سيلاني عالي السلامة لتمكين صناعة أشباه الموصلات والطاقة الشمسية

أطلقت شركة Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY)، المزود الرائد لأنظمة توصيل الغاز فائقة النقاء، رسميًا صندوق مشعب صمام Silane (VMB) المتخصص. تم تصميم هذا النظام الجديد خصيصًا لتوزيع الغازات المتخصصة الخطرة، ويوفر ضمانًا مزدوجًا للسلامة والدقة للعمليات ذات المهام الحرجة في صناعات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية والإلكترونيات الضوئية.

يعد Silane (SiH₄) حجر الزاوية في تصنيع الإلكترونيات الحديثة ولكنه يمثل مخاطر شديدة بسبب طبيعته القابلة للاشتعال والمتفجرة. تعالج سلسلة VMB الجديدة من WOFLY هذه التحديات من خلال مزيج من الابتكار الهيكلي وأدوات التحكم الذكية في السلامة.

التوزيع المتقدم والتحكم المستقل

تم تصميم WOFLY VMB لتقسيم مصدر غاز واحد إلى عدة فروع توزيع مستقلة، مما يوفر الغاز للعديد من أدوات المعالجة في وقت واحد. يتميز كل فرع بصمامات إغلاق مستقلة ووحدات مراقبة الضغط، مما يسمح بالصيانة المعزولة واستكشاف الأخطاء وإصلاحها دون مقاطعة تشغيل خطوط الإنتاج الأخرى.

ميزات السلامة الأساسية والتميز الفني

1. نظام التطهير والإزاحة الخامل

مجهزة بخطوط تطهير وتفريغ مدمجة عالية النقاء من النيتروجين (PN2). وهذا يضمن الإزالة الشاملة للسيلان المتبقي قبل إجراء الصيانة أو تغيير المعدات، مع الالتزام الصارم بمعايير السلامة لمنع الاحتراق التلقائي عند ملامسة الهواء.

2. المراقبة في الوقت الحقيقي وإنذارات التعشيق

توفر أجهزة استشعار ومقاييس الضغط المدمجة عالية الدقة استجابة على مستوى المللي ثانية. ويرتبط النظام بصمامات الإغلاق الهوائية في حالات الطوارئ ومراكز التحكم في المنشأة، مما يؤدي إلى العزل الفوري في حالة اكتشاف حالات شاذة في الضغط أو تسربات.

3. الضميمة الضغط السلبي

تحافظ الخزانة الفولاذية المقاومة للصدأ 316L المغلقة بالكامل على ضغط سلبي مستقر. ويتم حصر أي تسربات ضئيلة واستخلاصها بأمان من خلال نظام عادم مركزي إلى وحدة التخفيض، مما يزيل المخاطر التي تهدد بيئة ورشة العمل.

4. نقاء الصف الإلكتروني

جميع المكونات المبللة مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ بدرجة SS316L EP (مصقول كهربائيًا). باستخدام اللحام المداري التلقائي، يضمن النظام بيئة نظيفة وخالية من الجسيمات مع معدل تسرب هيليوم يبلغ ≥ 1×10⁻⁹ atm·cc/s، مما يحافظ على سلامة الغاز عالي النقاء.

تطبيقات الصناعة واسعة النطاق

إن تعدد الاستخدامات والتصميم القوي لـ WOFLY Silane VMB يجعله التكوين القياسي لـ:

- رقاقة أشباه الموصلات Fab:ضروري لعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة مثل PECVD، LPCVD، وALD.

- إنتاج الخلايا الكهروضوئية:يستخدم على نطاق واسع في خطوط الخلايا عالية الكفاءة مثل TOPCon وHJT لترسيب الأفلام القائمة على السيليكون.

- تصنيع شاشات العرض المتقدمة:دعم إنتاج TFT-LCD وAMOLED وMini/Micro LED.

- الأبحاث والمختبرات:توفير توزيع دقيق على نطاق صغير للبحث والتطوير للمواد والتحقق من العمليات.

قال المدير الفني في WOFLY: "السلامة والنقاء غير قابلين للتفاوض في التعامل مع الغاز المتخصص". "إن Silane VMB الجديد الخاص بنا ليس مجرد صندوق توزيع؛ بل هو درع أمان شامل يسمح لعملائنا بتوسيع نطاق إنتاجهم بثقة مطلقة."

لمزيد من التفاصيل حول Silane VMB أو لاستكشاف مجموعتنا الكاملة من حلول معالجة الغاز، يرجى زيارة موقعنا على الإنترنت علىwww.szwofly.comأو اتصل بنا على info@szwofly.com.

حول ووفلي

شركة Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) هي شركة تصنيع وهندسة متخصصة تركز على أنظمة توصيل الغاز عالية النقاء. مع أكثر من عقد من الخبرة، تخدم WOFLY صناعة التكنولوجيا الفائقة العالمية من خلال منظمات عالية الدقة، وVMBs، وخزائن الغاز، وحلول الأنابيب المتكاملة.